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BMCC-ZC23-0957 清华大学阴影云纹干涉仪购置项目
招标公告一、项目基本情况项目编号：BMCC-ZC23-0957/清设招第20230333号项目名称：清华大学阴影云纹干涉仪购置项目预算金额：人民币480万元最高限价：人民币480万元采购需求：用于微机电系统（MEMS）和集成电路（IC）芯片制造过程中翘曲率分析。具体要求详见招标文件第四章。包号名称数量是否允许进口产品投标01阴影云纹干涉....
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BMCC-ZC23-0956 清华大学原子力显微镜系统购置项目
招标公告一、项目基本情况项目编号：BMCC-ZC23-0956/清设招第20230330号项目名称：清华大学原子力显微镜系统购置项目预算金额：人民币400万元最高限价：人民币400万元采购需求：用于微机电系统（MEMS）和集成电路（IC）芯片制造过程中形貌分析领域。主要用于器件表面形貌、微结构的研究和三维形貌图形显示、分析和亚纳米级精....
- 27 2023-12
- 招标公告一、项目基本情况项目编号：BMCC-ZC23-0954/清设招第20230336号项目名称：清华大学椭偏仪购置项目预算金额：人民币220万元最高限价：人民币220万元采购需求：用于微米及纳米级透明或者半透明薄膜厚度、光学参数等测试设备。具体应用包括：1.MEMS器件光刻工艺，光刻胶厚度的高精度测量；2、介质膜厚度光学参数的高精度....
京公网安备 11010802041888号